キーワード解説：

走査型プローブ顕微鏡は、鋭く尖った探針（プローブ）を測定試料の表面にナノメートルレベルで近接させ、プローブと試料表面のあいだに働く物理量を検出することによって、試料の表面性状や物理量分布を測定する装置の総称。ＳＰＭともよばれる。表面性状の観察、表面粗さの測定が可能で、ナノレベルの変化が観察でき、同一部位をステップを追って観察できる。