走査型プローブ顕微鏡
- 【読み】
- そうさがたぷろーぶけんびきょう
- 【英語】
- Scanning Probe Microscope (SPM)
- 【書籍】
- エナメル質・象牙質・補綴物のプロフェッショナルケア
- 【ページ】
- 15
キーワード解説
走査型プローブ顕微鏡は、鋭く尖った探針(プローブ)を測定試料の表面にナノメートルレベルで近接させ、プローブと試料表面のあいだに働く物理量を検出することによって、試料の表面性状や物理量分布を測定する装置の総称。SPMともよばれる。表面性状の観察、表面粗さの測定が可能で、ナノレベルの変化が観察でき、同一部位をステップを追って観察できる。